A PVD több-íves bevonatú titán porlasztó célpontok kulcsfontosságú anyagok, amelyeket a fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) technológiájában használt több-ívionos bevonási folyamatokban használnak. Elsősorban elektromos ívkisülést használnak a nagy-tisztaságú titántárgyak elpárologtatására és ionizálására, fémionokat képezve, amelyek a hordozó felületén lerakódnak, így sűrű, erősen tapadó titán- vagy titánvegyületfilmeket hoznak létre. Ezt az eljárást széles körben használják félvezetőkben, kijelzőpanelekben, szerszámerősítésben és dekorációs bevonatokban.
I. A PVD több{1}}íves bevonat fő jellemzői, titán porlasztó célpontok
Nagy tisztasági követelmények: A titán porlasztó céltárgy tisztasága közvetlenül befolyásolja a film minőségét. Az ipari alkalmazásokhoz általában legalább 99,6%-os titántartalom szükséges, míg a félvezető -minőségű alkalmazások 5N (99,999%) vagy akár 6N szintet igényelnek, és a szennyeződéseket a ppb-szintre szabályozzák az elektromigrációs hiba elkerülése érdekében.
Kiváló fizikai tulajdonságok:
Sűrűség: Az elméleti sűrűség 4,51 g/cm³. A nagy sűrűség csökkenti a porozitást, javítja a porlasztási hatékonyságot és javítja a film egyenletességét.
Kiváló fizikai tulajdonságok: Szemcseméret: A finom és egyenletes eloszlású (50 μm-nél kisebb) szemcsék hozzájárulnak a sima filmréteg kialakításához, amely megfelel a csúcskategóriás eszközök vékonyréteg-simaságra vonatkozó követelményeinek.
Jó hővezető képesség és mechanikai stabilitás: A titán porlasztó céltárgyaknak ki kell állniuk a magas-hőmérsékletű ívbombázásnak, jó hővezető képességgel és hőterhelési repedésekkel szembeni ellenállással kell rendelkezniük, biztosítva a stabil működést hosszú ideig.
A megfelelő titán porlasztási célpont kiválasztása a PVD több{0}}íves bevonathoz az olyan alapvető paraméterek függvénye, mint a tisztaság, a sűrűség, a szemcseméret, a mikroegységesség és a folyamatkompatibilitás az adott alkalmazási forgatókönyvhöz. A teljesítménykövetelmények jelentősen eltérnek a különböző területeken, beleértve a félvezetőket, az optikát, a szerszámerősítést és a dekoratív bevonatokat, ami célzott kiválasztást tesz szükségessé.
I. Félvezető gyártás (nagy tisztaságú előnyben részesített)
Tisztasági követelmények: 99,995% vagy annál nagyobb (4N5), a csúcsminőségű folyamatokhoz 99,999% vagy annál nagyobb (5N) szennyeződésekre van szükség, mint például Fe, O és C, 1–30 ppm között szabályozott, radioaktív elemek, például urán és tórium 0,01 ppm alatt.
Sűrűség és hibaellenőrzés: Sűrűség nagyobb vagy egyenlő, mint 99,5%, csökkenti a porozitást és a zárványokat, elkerülve az ostya szennyeződését a porlasztás során.
Szemcse egyenletessége: Szemcseméret legfeljebb 50 μm, eloszlási eltérés kevesebb, mint 20%, biztosítja a filmvastagság konzisztenciáját és megfelel a nanoméretű huzalozási követelményeknek.
Tipikus alkalmazások: TiN zárórétegek és TiSi₂ érintkező rétegek lerakására használják a réz diffúziójának megakadályozására és a készülék megbízhatóságának javítására.
II. Optikai és megjelenítő eszközök (nagy egyenletesség + alacsony érdesség)
Céltípus: Tiszta titán vagy TiO₂ céltárgyak használhatók reakcióba, és TiO₂ vékonyrétegek létrehozására oxigénatmoszférában.
Felületi minőség: Felületi érdesség: 0,1 μm vagy annál kisebb, repedés- és pórusmentes, nagy-precíziós bevonási követelményeknek megfelelő.
A film jellemzői: A TiO₂ magas törésmutatójának és fotokatalitikus tulajdonságainak felhasználásával -visszaverődésgátló fóliák, ön-tisztuló üvegek és AR/VR optikai komponensek készíthetők.
Folyamatparaméterek: Az oxigén áramlási sebességének és teljesítményének pontos szabályozása szükséges a titánmaradványok vagy porózus filmek elkerülése érdekében.
III. Szerszám- és formaerősítés (nagy keménység + kopásállóság)
Bevonat típusa: A vágószerszámok felületi keménységének (2000-3000 HV-ig) és hőállóságának javítása kompozit bevonatokkal, például TiN, TiCN és TiAlN.
Cél anyagteljesítmény: Valamivel alacsonyabb tisztaság megengedett (99,6%-nál nagyobb vagy egyenlő), de jó hővezető képesség és erős hősokkállóság szükséges ahhoz, hogy ellenálljon a többíves kisülés magas hőmérsékletének.
Gyakorlati hatások: A bevonat 3-5-szörösére növelheti a szerszám élettartamát, és olyan zord körülményekhez is alkalmas, mint a száraz vágás és a nagy sebességű{2}}megmunkálás.
IV. Dekoratív bevonat (szabályozható szín + mérsékelt költség)
Színszabályozás: A titán céltárgy reakcióba lép a nitrogénnel, és aranyszínű -sárga TiN bevonatot hoz létre; a gázarány beállítása rózsa aranyat (TiCN), kéket vagy lilát (TiO₂ interferencia színt) eredményezhet.
Költségmegfontolások: 99,6%-os tisztaságú titán célpont használható, ami csökkenti az anyagköltségeket, miközben továbbra is teljesíti a külső alkatrészek bevonási követelményeit.
Alkalmazások: Széles körben használják órák, mobiltelefonok burkolatai, hardver részei, fürdőszobai kiegészítői stb. felületkezelésére.
Népszerű tags: pvd multi{0}}ívbevonatú titán porlasztóanyag, Kína pvd multi-ívbevonatú titán porlasztóanyag gyártók, beszállítók, gyár
