Nagy tisztaságú porlasztó célpontok: mi befolyásolja a vékonyréteg stabilitását?

Jun 14, 2026 Hagyjon üzenetet

Miért számít a porlasztásos célminőség?

A nagy-tisztaságú porlasztó célpontok a fizikai gőzleválasztás kulcsfontosságú forrásai. Félvezető, optikai bevonat, dekoratív bevonat, szerszámbevonat és kutatási alkalmazások esetén a cél közvetlenül befolyásolja a film összetételét, a részecsketeljesítményt és a lerakódási stabilitást.

High purity sputtering target material

A nagy-tisztaságú porlasztó céltárgyakat PVD- és magnetronporlasztás forrásanyagaként használják.

 

A film stabilitását befolyásoló tényezők

Számos anyag- és feldolgozási tényező befolyásolhatja a porlasztási teljesítményt. A tisztaság határozza meg a lerakott film szennyezettségi szintjét. A sűrűség befolyásolja a plazma stabilitását és a cél élettartamát. A szemcseméret és a mikrostruktúra befolyásolja az eróziós viselkedést. A felületkezelés és a tisztítás szabályozása segít csökkenteni a részecskéket, mielőtt a céltárgy belépne a bevonat kamrába.

Specifikációs ellenőrzőlista vásárlók számára

  • Anyag és tisztaság: titán, cirkónium, nikkel, volfrám, molibdén, tantál, nióbium vagy ötvözet
  • Forma és méret: kerek, téglalap, sík vagy egyedi rajz
  • Hátlap és ragasztás: ellenőrizze, hogy szükséges-e a ragasztás
  • Felületkezelés: megmunkált, polírozott, tisztított és vákuumcsomagolt
  • Ellenőrzés: összetétel, sűrűség, méret és vizuális felület ellenőrzése

Custom sputtering target for thin film deposition

A cél geometriája, sűrűsége és felületi minősége befolyásolja a lerakódás stabilitását és a célfelhasználást.

 

Mikor kell egyéni célokat kérni

Egyedi célpontok akkor javasoltak, ha a bevonóberendezés speciális bilincs-kialakítással, hűtési követelményekkel, magnetronelrendezéssel vagy kötőszerkezettel rendelkezik. A vásárlóknak meg kell adniuk a rajzokat, a célvastagságot, a tűréseket, a csavarlyuk helyzetét, a hátlap anyagát és a munkateljesítményt, ha rendelkezésre állnak.

CLJZ fémellátási képesség

A Shaanxi Changlong Jiuzhou Metal Technology nagy-tisztaságú fém nyersanyagokat és porlasztási célokat szállít, beleértve a titánt, cirkóniumot, nikkelt, volfrámot, molibdént, tantált és nióbiumot. A cég árajánlat előtt támogatja a próbarendeléseket, az egyedi megmunkálást, az exportcsomagolást és a műszaki kommunikációt.